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国产18寸半导体级单晶硅棒研制成功

摘要 近日,在SemiconChina2020上,新美光(姑苏)半导体科技有限公司发布了450mm(18寸)11个9纯度的半导体级单晶硅棒。据新美光CEO夏秋良介绍,450mm半导体单晶...

近日,在Semicon China2020上,新美光(姑苏)半导体科技有限公司发布了450mm(18寸)11个9纯度的半导体级单晶硅棒。据新美光CEO夏秋良介绍,450mm半导体单晶硅棒采用国际最前辈MCZ手艺,代表国际进步水平,改变国内无自立450mm半导体级单晶硅棒的局势。将在28nm以下晶圆厂实现国产替代。

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2019年12月,新美光完成了数万万元pre-A轮融资,由陕投成长基金领投,2020年6月份,又敏捷的完成了新的一轮融资,由安丰创投领投。今朝在建2万平米厂房,估计2021年4月封顶,2021年岁尾产线投产。

扩展阅读:晶圆是制造半导体芯片的根基材料,建造晶圆需要将单晶硅棒进行切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻,包装而成。

而单晶硅棒的制造则需要纯度为99.9999%的电子级别硅在1400 ℃高温中消融,然后在溶液中种入籽晶。随后慢慢拉出形成圆柱形单晶硅棒。

电子级别硅的提纯则需要把砂石放在2000℃的高温中与碳源发生回响。生成纯度为98%的硅(冶金级硅),随后把破碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化回响,生成液态的硅烷。经由蒸馏和化学还原工艺,获得了纯度为99.99999%的多晶硅。

此次新美光(姑苏)半导体科技有限公司自立生产的450mm的半导体级单晶硅棒,在当下有十分主要的计谋意义。

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